CVD气相沉积系统

快速红外加热炉

电压

AC3800V    50/60Hz

功率

24KW

加热区长

400mm

最高使用温度

1100℃

工作温度

≤1000℃

升温速率：

≤300℃/min

温控系统

PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器，

恒温精度

±5

石英管

Φ50/60/80100*1400mm

两路质量流量控制系统

最大电压

185~245V/50Hz

最大输出功率：

18W

流量计标准量程

300SCCM

工作温度：

5~45 oC

工作压差：

0.1～0.5 MPa

最大压力：

3Mpa

准确度：

±1.5% FS

真空系统

产品型号：F-100/150型涡轮分子泵

厂家： 中科科仪

技术参数：

抽速速率(l/s)：150

进气口法兰：LF100(ISO-K)

排气口法兰:KF25

压缩比：N2: 108  H2：5X10102

建议启动压强：＜100pa

额定转速（rpm）：42300

启动时间（min）：≤2

冷却方式：风冷

冷却温度（℃）：≤25

安装方式：水平或者垂直

重量：8kg

2.2干泵：

产品型号：GWSP300

厂家：沈阳纪维，

技术参数：

极限真空度 Pa 2.60

排气速度 l/s 4.30

      m3/h 15.5

噪音值 dB(A) ≦60

漏率（排气口和气镇阀关） Pa·m3/s 1×10-8

最大进/排气压力 MPa 0.1 /0.13

进/排气口尺寸 KF25/KF16

工作环境温度 ℃ 5～40

冷却方式 风冷

单相电机 功率 0.55

电压 V      200～230V, 50Hz

转速 rpm 1425(50Hz)，

接头形式 国标、

转速 rpm 1425(50Hz)，

外形尺寸 ： 495×305×355

净重 单相 kg 27

其他 带气镇阀

电阻真空计：

测量范围：（1.0x105~1.0x10-1)pa

配备规管：ZJ-52T（可选择接口）

测量路数：1路

显示方式：LED数码显示或双显（可选）

电源：AC220V±10%50HZ

攻耗：20W

重量：≤1KG

机箱尺寸：96*96

控制路数：2路（可扩展）

控制范围：（1.0x105~1.0x10-1)pa

控制方式：点控或区域控制

控制点负载能力：AC220V/3A无感负载

测量精度：±30%

响应时间：〈1S

模拟输出：（0~5）V；（4~20）mA（选配）

通讯接口：RS-232；RS-485（选配）

法兰及支撑

304不锈钢快速水冷法兰，长期水冷无腐蚀一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等

可选配件

混气系统,中、高真空系统，各种刚玉坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪，冷却水循环机等。